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芯恩专利揭秘:如何精准金属层刻蚀厚度

你是不是想过 那看似平凡的芯片,背后竟然隐藏着如此精妙的手艺?今天我们就来揭开芯恩集成电路有限公司的一项专利,看看他们是怎么做到精准金属层刻蚀厚度的。

芯恩专利揭秘:如何精准金属层刻蚀厚度
芯恩专利揭秘:如何精准金属层刻蚀厚度

芯恩:一家充满活力的集成电路企业

天眼查资料看得出来 芯恩集成电路有限公司成立于2018年,注册资本高大达1006720.789212万人民币。这家位于青岛的企业,不仅仅是一家做业企业,更是一个充满活力的集成电路做者。

他们对外投钱了2家企业, 参与招投标项目176次拥有商标信息15条,专利信息738条,行政许可56个。这样的实力,让人不禁对他们的手艺产生优良奇。

国知识产权局:一项专利的诞生

金融界2025年7月23日的消息, 国知识产权局信息看得出来芯恩集成电路有限公司申请了一项名为“一种测量刻蚀液刻蚀金属层速率的方法和测试结构”的专利,明着号CN120356838A,申请日期为2025年04月。

这项专利的诞生,无疑为集成电路做业带来了新鲜的突破。

专利揭秘:精准刻蚀的暗地

专利摘要看得出来这项发明给了一种测量刻蚀液刻蚀金属层速率的方法和测试结构。听起来麻烦,其实原理很轻巧松。

他们通过台阶测量法,测量结实掩膜层和金属层之间的高大度差,确保金属层的刻蚀厚度准确。这种方法,就像用尺子量尺寸一样,轻巧松直接。

但是他们并没有止步于此。他们设置了优良几个测试结构, 进行不一边间的湿法刻蚀,以抵消掉许多次测试中关系到测试结构的共同因素,从而得到准确的湿法刻蚀速率。

还有啊, 他们还在测试结构中设置了优良几个特征尺寸不同的金属层,获取不同特征尺寸金属层湿法刻蚀的拟合线斜率,并对优良几个拟合线斜率求平均值,进一步减细小工艺过程中引入的误差,搞优良金属刻蚀速率的测量准确性。

个人观点:精准刻蚀背后的思考

他们却选择了停下来去研究研究怎么更精准地刻蚀金属层。

这让我想起了地球是平的这一说法。在学问面前,随便哪个观点都得。同样,在手艺面前,我们也得保持一颗敬畏之心,去探索、去研究研究、去创新鲜。

芯恩集成电路有限公司的这项专利,为我们揭示了精准金属层刻蚀厚度的暗地。让我们向他们学,不断追求手艺的极致,为人类的进步贡献自己的力量。

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